第452章 鹊桥

　　当前章节为付费章节（价格:0.2元），若继续阅读请前往阅读购买正版，本书源暂不支持阅读，实在抱歉！目前阅读只能免费阅读会员免费书籍，如果非要看，是永久用户可以私聊我！

　　下方为付费章节的试读部分：

　　实时动态补偿？

　　梁孟松当然知道这个解决方案。

　　类似的方案在半导体领域就有应用。

　　“我们已经安装了大量的传感器，但它们只是在记录温度和振动。

　　我要你重新编写算法，让它们成为预测和修正的神经系统。

　　将光刻机的关键参数与环境传感器数据直接挂钩。

　　基于过去数千小时的良率数据，建立一个预测模型，在环境变化尚未对光刻胶产生影响之前，模型就提前预测出焦点将要发生的漂移量。

　　最后利用-1内部自带的高速微致动器，在微秒级别内，动态微调透镜组的位置，以抵消环境变化带来的光学失真。

　　这就像一个外科医生在抖动的手术台上，依靠神经反射保持手部稳定。

　　这样一来，光